LAMINAR-FLOW-EINHEITEN

Ob in der Halbleiterfertigung, Nanotechnologie oder Mikrosystemtechnik – unsere Laminar-Flow-Systeme schaffen kontrollierte Reinbereiche mit höchster Luftqualität. Sie ermöglichen zuverlässige Prozesssicherheit überall dort, wo reine Bedingungen unerlässlich sind.

LAMINAR-FLOW-EINHEITEN FÜR HOCHREINE ARBEITSBEREICHE

Viele Bereiche in der Industrie sowie in Forschung und Entwicklung z. B. Halbleiterfertigung, Nanotechnologie, Mikrosystemtechnik usw. stellen höchste Ansprüche an hochreine Räume und Arbeitsbereiche. Durch arias Laminar-Flow-Einheiten werden „Reine  Arbeitsbereiche“ geschaffen, die sich durch hohe Luftqualität von der allgemeinen Umgebung abgrenzen.

Die Funktionsweise ist bei allen LF-Geräten identisch. Raumluft wird durch hochleistungsfähige Filterelemente geleitet und gereinigt. Anschließend spülen turbulenzarme Verdrängungsströmungen den Arbeitsbereich von Partikeln frei.
Im Prozess entstehende oder vom Produkt abgegebene Partikel werden durch die abgesaugte Luftströmung fortgetragen und aus dem Arbeitsraum herausgespült.

AUTOMATISCHE LUFTREGELUNG FÜR MAXIMALE SICHERHEIT

Um 100%ige Funktionalität zu gewährleisten, wird die Luftgeschwindigkeit permanent überwacht und die Gebläseleistung stufenlos mit automatischer Nachregulierung im Soll-Bereich gehalten. 

Laminar-Flow Work Station

UNSERE PRODUKTE AUF EINEN BLICK

  • NASSPROZESSTECHNIK

    Unsere Nassprozess-Einrichtungen sind speziell für die Fertigung mikroelektronischer Bauelemente und Forschungslabore konzipiert und bieten individuell konfigurierte, stabile Arbeitsplätze aus hochwertigen Vollmaterialien.

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  • PROZESSBECKEN UND EINBAUKOMPONENTEN

    Unsere Prozessbecken werden speziell für komplexe Spül‑, Reinigungs‑ und Ätzprozesse konzipiert. Material und Ausstattung richten sich exakt nach den chemischen Anforderungen und individuellen Vorgaben unserer Kunden – für höchste Prozesssicherheit und Effizienz.

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  • GALVANIKANLAGEN

    Galvanische Prozesse sind ein zentraler Bestandteil der Mikro- und Nanotechnik. Wir entwickeln unsere Anlagen individuell – mit dem Ziel, höchste Beschichtungsqualität und maximale Prozesssicherheit zu gewährleisten.

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  • LAMINAR-FLOW-EINHEITEN

    Ob in der Halbleiterfertigung, Nanotechnologie oder Mikrosystemtechnik – unsere Laminar-Flow-Systeme schaffen kontrollierte Reinbereiche mit höchster Luftqualität. Sie ermöglichen zuverlässige Prozesssicherheit überall dort, wo reine Bedingungen unerlässlich sind.

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  • CHEMIKALIEN VER-/ ENTSORGUNG

    Für präzise und reproduzierbare Fertigungsprozesse sind zuverlässige Systeme zur Versorgung und Entsorgung von Reinstchemikalien unerlässlich. 
    Unsere Lösungen vereinen höchste Sicherheit mit flexibler Funktionalität – individuell anpassbar auf Ihren Anwendungsfall.

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  • ABSAUG-DIGESTORIEN

    Überall dort, wo gesundheitsschädliche Gase oder Dämpfe auftreten können, bieten arias Absaug-Digestorien zuverlässigen Personenschutz. Individuell konfigurierbar und vollständig aus Kunststoff gefertigt – für maximale Sicherheit und Anwenderkomfort.

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  • SONSTIGE PRODUKTE 

    Unsere langjährige Erfahrung im Anlagenbau und der Prozessintegration bildet die Grundlage für umfassende Systemlösungen – exakt abgestimmt auf Ihre Anforderungen. So entstehen ganzheitliche Konzepte für saubere, sichere und effiziente Fertigungsumgebungen.

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  • DIENSTLEISTUNGEN

    Neben dem Bau neuer, maßgeschneiderter Anlagen unterstützen wir Sie mit umfassenden Serviceleistungen – von Modernisierung über Wartung bis zur Reparatur. So bleiben Ihre Anlagen stets effizient und auf dem neuesten Stand.

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