PROZESS­BECKEN UND EINBAU­KOMPONENTEN

Unsere Prozessbecken werden speziell für komplexe Spül‑, Reinigungs‑ und Ätzprozesse konzipiert. Material und Ausstattung richten sich exakt nach den chemischen Anforderungen und individuellen Vorgaben unserer Kunden – für höchste Prozesssicherheit und Effizienz.

PROZESS­BECKEN UND EINBAU­KOMPONENTEN FÜR REINIGUNGS- UND ÄTZTECHNIK

Prozessbecken sind für die verschiedenen Spül-, Reinigungs- und Ätzprozesse verfügbar. Das Material der Prozessbecken wird nach thermischer und chemischer Resistenz ausgewählt. Die Prozessbäder werden mit verschiedensten Ausstattungen angeboten:

  • Umlauffiltration
  • Temperierungen direkt / indirekt
  • Automatische Beckenbefüllung
  • Substratbewegung vertikal / horizontal
  • Leitwertmessung für Reinstwasser
  • Ultraschall- / Megaschallsysteme
  • mechanische oder manuelle Deckelöffnung
  • Kühldeckel / Kühlaufsätze

Die Zusammenstellung der Prozessbecken und deren Ausstattungen erfolgt individuell nach kundenspezifischen Anforderungen. Darüber hinaus sind auch Fremdkomponenten, beispielsweise für Lithographie-, Trocknungs- oder sonstige Prozesse, integrierbar.

Prozessbecken ausgestattet mit: Megaschallsystem, Chemieversorgungseinrichtung, Kühlfalle und Kühldeckel

Ätzbecken aus PVDF mit losen Deckeln

Automatisches Handling von Substraten

Beheizte Überlaufbecken aus PTFE mit Klappdeckeln

IPA-Trockner

Ultraschallbecken aus Edelstahl mit Klappdeckeln

UNSERE PRODUKTE AUF EINEN BLICK

  • NASSPROZESSTECHNIK

    Unsere Nassprozess-Einrichtungen sind speziell für die Fertigung mikroelektronischer Bauelemente und Forschungslabore konzipiert und bieten individuell konfigurierte, stabile Arbeitsplätze aus hochwertigen Vollmaterialien.

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  • PROZESSBECKEN UND EINBAUKOMPONENTEN

    Unsere Prozessbecken werden speziell für komplexe Spül‑, Reinigungs‑ und Ätzprozesse konzipiert. Material und Ausstattung richten sich exakt nach den chemischen Anforderungen und individuellen Vorgaben unserer Kunden – für höchste Prozesssicherheit und Effizienz.

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  • GALVANIKANLAGEN

    Galvanische Prozesse sind ein zentraler Bestandteil der Mikro- und Nanotechnik. Wir entwickeln unsere Anlagen individuell – mit dem Ziel, höchste Beschichtungsqualität und maximale Prozesssicherheit zu gewährleisten.

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  • LAMINAR-FLOW-EINHEITEN

    Ob in der Halbleiterfertigung, Nanotechnologie oder Mikrosystemtechnik – unsere Laminar-Flow-Systeme schaffen kontrollierte Reinbereiche mit höchster Luftqualität. Sie ermöglichen zuverlässige Prozesssicherheit überall dort, wo reine Bedingungen unerlässlich sind.

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  • CHEMIKALIEN VER-/ ENTSORGUNG

    Für präzise und reproduzierbare Fertigungsprozesse sind zuverlässige Systeme zur Versorgung und Entsorgung von Reinstchemikalien unerlässlich. 
    Unsere Lösungen vereinen höchste Sicherheit mit flexibler Funktionalität – individuell anpassbar auf Ihren Anwendungsfall.

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  • ABSAUG-DIGESTORIEN

    Überall dort, wo gesundheitsschädliche Gase oder Dämpfe auftreten können, bieten arias Absaug-Digestorien zuverlässigen Personenschutz. Individuell konfigurierbar und vollständig aus Kunststoff gefertigt – für maximale Sicherheit und Anwenderkomfort.

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  • SONSTIGE PRODUKTE 

    Unsere langjährige Erfahrung im Anlagenbau und der Prozessintegration bildet die Grundlage für umfassende Systemlösungen – exakt abgestimmt auf Ihre Anforderungen. So entstehen ganzheitliche Konzepte für saubere, sichere und effiziente Fertigungsumgebungen.

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  • DIENSTLEISTUNGEN

    Neben dem Bau neuer, maßgeschneiderter Anlagen unterstützen wir Sie mit umfassenden Serviceleistungen – von Modernisierung über Wartung bis zur Reparatur. So bleiben Ihre Anlagen stets effizient und auf dem neuesten Stand.

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