NASSPROZESS­TECHNIK

Unsere Nassprozess-Einrichtungen sind speziell für die Fertigung mikroelektronischer Bauelemente und Forschungslabore konzipiert und bieten individuell konfigurierte, stabile Arbeitsplätze aus hochwertigen Vollmaterialien.

EFFIZIENTE NASSEPROZESS-SYSTEME FÜR MIKROELEKTRONIK

Die Hauptanwendungsgebiete unserer Nassprozess-Einrichtungen liegen in der Fertigung mikroelektronischer Bauelemente sowie in Forschungs- und Entwicklungslaboren.

Die Grundkörper der Nassprozess-Arbeitsplätze sind aus Vollmaterial (z.B. PP, PPs, CPVC usw.) in stabiler Schweißkonstruktion hergestellt und ermöglichen eine individuelle Zusammenstellung der Ausrüstung.

Für optimale Effizienz werden die Prozessbecken in der Regel nebeneinander in die Tische eingebaut.
Alle Geräte sind bereits in unserem Reinraum getestet, sodass die Prozesstische komplett durchinstalliert bei unseren Kunden angeliefert werden und nur noch mit den bauseitigen Anschlüssen für die Ver- und Entsorgung zu verbinden sind.

Auch im Betrieb stehen bei unseren Systemen immer Effizienz und Sicherheit im Vordergrund. So werden über Randabsaugung und Tischwanne alle schädlichen Gase und Dämpfe mittels Abluftsystem nach außen abgeleitet. Elektrische und durch Fremdkraft betriebene Einrichtungen entsprechen den Sicherheitsstandards für technische Arbeitsmittel. 

GANZHEITLICHER SCHUTZ
DER ANLAGE

Die Anlagen selbst sind gegen schädliche Einflüsse geschützt. So sind z.B sensible Teile, wie Bedientasten oder Regelungs- und Kontrollgeräte, sicher hinter einer Tropfleiste angebracht.

Nassprozesslinie mit Laminar Flow Einheiten

Nassprozesstischlinie für Lösemittel, Säuren und Basen

Nassprozesstische mit Gelblicht

Nassprozesstisch

Nassprozesstisch mit automatischem Handling von Substraten

Nassprozesstisch für Lösemittel

Detailansicht eines Nassprozesstisches

UNSERE PRODUKTE AUF EINEN BLICK

  • NASSPROZESSTECHNIK

    Unsere Nassprozess-Einrichtungen sind speziell für die Fertigung mikroelektronischer Bauelemente und Forschungslabore konzipiert und bieten individuell konfigurierte, stabile Arbeitsplätze aus hochwertigen Vollmaterialien.

  • PROZESSBECKEN UND EINBAUKOMPONENTEN

    Unsere Prozessbecken werden speziell für komplexe Spül‑, Reinigungs‑ und Ätzprozesse konzipiert. Material und Ausstattung richten sich exakt nach den chemischen Anforderungen und individuellen Vorgaben unserer Kunden – für höchste Prozesssicherheit und Effizienz.

  • GALVANIKANLAGEN

    Galvanische Prozesse sind ein zentraler Bestandteil der Mikro- und Nanotechnik. Wir entwickeln unsere Anlagen individuell – mit dem Ziel, höchste Beschichtungsqualität und maximale Prozesssicherheit zu gewährleisten.

  • LAMINAR-FLOW-EINHEITEN

    Ob in der Halbleiterfertigung, Nanotechnologie oder Mikrosystemtechnik – unsere Laminar-Flow-Systeme schaffen kontrollierte Reinbereiche mit höchster Luftqualität. Sie ermöglichen zuverlässige Prozesssicherheit überall dort, wo reine Bedingungen unerlässlich sind.

  • CHEMIKALIEN VER-/ ENTSORGUNG

    Für präzise und reproduzierbare Fertigungsprozesse sind zuverlässige Systeme zur Versorgung und Entsorgung von Reinstchemikalien unerlässlich. 
    Unsere Lösungen vereinen höchste Sicherheit mit flexibler Funktionalität – individuell anpassbar auf Ihren Anwendungsfall.

  • ABSAUG-DIGESTORIEN

    Überall dort, wo gesundheitsschädliche Gase oder Dämpfe auftreten können, bieten arias Absaug-Digestorien zuverlässigen Personenschutz. Individuell konfigurierbar und vollständig aus Kunststoff gefertigt – für maximale Sicherheit und Anwenderkomfort.

  • SONSTIGE PRODUKTE 

    Unsere langjährige Erfahrung im Anlagenbau und der Prozessintegration bildet die Grundlage für umfassende Systemlösungen – exakt abgestimmt auf Ihre Anforderungen. So entstehen ganzheitliche Konzepte für saubere, sichere und effiziente Fertigungsumgebungen.

  • DIENSTLEISTUNGEN

    Neben dem Bau neuer, maßgeschneiderter Anlagen unterstützen wir Sie mit umfassenden Serviceleistungen – von Modernisierung über Wartung bis zur Reparatur. So bleiben Ihre Anlagen stets effizient und auf dem neuesten Stand.

SIE HABEN GEFUNDEN WAS SIE SUCHEN ODER BRAUCHEN INDIVIDUELLE BERATUNG?

Jetzt Kontakt aufnehmen