NASSPROZESSTECHNIK
Unsere Nassprozess-Einrichtungen sind speziell für die Fertigung mikroelektronischer Bauelemente und Forschungslabore konzipiert und bieten individuell konfigurierte, stabile Arbeitsplätze aus hochwertigen Vollmaterialien.
EFFIZIENTE NASSEPROZESS-SYSTEME FÜR MIKROELEKTRONIK
Die Hauptanwendungsgebiete unserer Nassprozess-Einrichtungen liegen in der Fertigung mikroelektronischer Bauelemente sowie in Forschungs- und Entwicklungslaboren.
Die Grundkörper der Nassprozess-Arbeitsplätze sind aus Vollmaterial (z.B. PP, PPs, CPVC usw.) in stabiler Schweißkonstruktion hergestellt und ermöglichen eine individuelle Zusammenstellung der Ausrüstung.
Für optimale Effizienz werden die Prozessbecken in der Regel nebeneinander in die Tische eingebaut.
Alle Geräte sind bereits in unserem Reinraum getestet, sodass die Prozesstische komplett durchinstalliert bei unseren Kunden angeliefert werden und nur noch mit den bauseitigen Anschlüssen für die Ver- und Entsorgung zu verbinden sind.
Auch im Betrieb stehen bei unseren Systemen immer Effizienz und Sicherheit im Vordergrund. So werden über Randabsaugung und Tischwanne alle schädlichen Gase und Dämpfe mittels Abluftsystem nach außen abgeleitet. Elektrische und durch Fremdkraft betriebene Einrichtungen entsprechen den Sicherheitsstandards für technische Arbeitsmittel.
GANZHEITLICHER SCHUTZ
DER ANLAGE
Die Anlagen selbst sind gegen schädliche Einflüsse geschützt. So sind z.B sensible Teile, wie Bedientasten oder Regelungs- und Kontrollgeräte, sicher hinter einer Tropfleiste angebracht.
Nassprozesslinie mit Laminar Flow Einheiten
Nassprozesstischlinie für Lösemittel, Säuren und Basen
Nassprozesstische mit Gelblicht
Nassprozesstisch
Nassprozesstisch mit automatischem Handling von Substraten
Nassprozesstisch für Lösemittel
Detailansicht eines Nassprozesstisches
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